数码新品汇2021年6月13日报导，近来，中国科学院上海光学精密机械研讨所信息光学与光电技能实验室，研讨的光刻技能取得新进展的研讨成果曝光，该论文长达23页，包含约19756个文字，14张图片、3张表和27个方程，以及34个参考文献，具体的介绍此次光刻技能取得新进展的整个完成进程、原理和办法。
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