米乐m6官方网站:合肥芯碁微电子请求光学扩展模组和具有其的光学体系专利提高了线路的曝光功率

  专利摘要显现，本发明公开了一种光学扩展模组和光学体系，光学扩展模组包含：空间光调制器，扩展镜组，扩展镜组设置于空间光调制器的一侧，扩展镜组经过主成像镜头、反射镜组或棱镜组构成多个展开光路；多个微透镜阵列模组，多个微透镜阵列模组设置于扩展镜组的远离空间光调制器的一侧并坐落主成像镜头的像面上，每个微透镜阵列模组对应于一个展开光路；每个展开光路对应一个子成像透镜，每个子成像透镜和微透镜阵列模组一一对应设置，子成像透镜设置于微透镜阵列模组的远离扩展镜组的一侧。依据本发明施行例的光学扩展模组，具有提高了线路的曝光功率和降低了修理本钱等长处。

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